新型显示面板/HJT电池用高性能IT0(氧化铟锡)溅射靶材关键技术研发
发布时间:2024-05-22 11:11:41     622人浏览
发布者 江苏东玖光电科技有限公司
需求状态 待解决
意向投入 50万
联系方式 18752****68
需求详情
需求信息
需求名称新型显示面板/HJT电池用高性能IT0(氧化铟锡)溅射靶材关键技术研发
情况说明拟应用场景半导体高纯材料,HJT,钙钛矿叠层电池
研发投入(万元)50
功能简述

ITO 溅射靶材,是生产显示面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键核心材料。靶材作为溅射镀膜过程中的关键耗材,不仅应用关键,而且靶材性能的优劣将直接影响显示面板、光伏电池器件的性能。高密度、高纯度、低电阻率;相组织形成合理,组织均一无偏析;晶粒大小微细均匀;具有良好的机械力学、热学性能;满足连续高速、低缺陷、大面积磁控溅射镀膜工艺要求。在全球高端TFT-LCD和0LED面板应用中,日系厂商IT0溅射靶材全球占有率达到60-70%,对于我国而言,高端应用的 ITO 溅射靶材仍是“卡脖子”关键材料,无法与国际巨头全面竞争,国产替代形势严峻,迫切需要提升制粉、成型、烧结技术及装备技术,实现 IT0 靶材关键材料的自主可控。

需达到的关键技术指标

1)材料纯度:>99.99%;

2)烧结致密度:>99.7%;

3)晶粒大小及均匀性:<5um;

4)体电阻率:<1.5*10-42.cm;

5)具有特定的微观组织结构和织构组织,

合作意向方式合作研发
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