所属领域

集成电路与ICT

技术成熟度

产业化

应用行业

激光加工

合作方式

技术服务

成果概况

激光器产品主要包括2类，一是半导体泵浦全固态激光器，波长主要有1064nm、532nm、266nm、226nm、213nm等，包括：“高功率皮秒紫外激光”“高功率紫外纳秒激光”“高单脉冲能量深紫外纳秒激光”等系列。

图1全固态DPSS激光器
 

二是掺钛蓝宝石可调谐激光器，这一窄线宽、1-8eV（190-510nm &690-1020nm）可调激光系统是原子物理、分子物理、光子物理、微观科研领域的重要设备。

图2宽谱段钛宝石可调谐激光器

关键技术

（1）固体激光器自主设计，具备完全知识产权的激光器设计软件。

（2）固体激光器完全国产自主可控。

应用领域和市场前景

◆ 广泛材料激光印刷

◆ 飞行打标和蚀刻

◆ 激光切割、钻孔

◆ FPC， PCB 紫外切割

◆ 半导体加工

◆ 拉曼光谱、荧光光谱

激光器主要应用于特殊材料加工，荧光、拉曼光谱激发等，向美国橡树林实验室、美国匹兹堡大学、夏威夷大学、大连物化所、北京原子能研究院、清华大学供货。主要用于同位素分离、激光离子源、共振拉曼光谱激发、核谱研究等领域。