所属领域

新材料

技术成熟度

产业化

应用行业

光伏、显示、存储等

合作方式

技术合作、投资融资

成果概况

主持完成国家、省部级科研项目10项；主持过省级自然基金重点项目：铝掺杂氧化锌靶材粉浆浇注过程与组织控制机理的研究，电解氧化钽制备钽粉微观机理研究；参与过多项宁夏自然基金：ITO靶材的结瘤问题研究；超细镍粉；Nb-40Ti-15Al合金中硼的微合金化细晶作用；获国家、省部级科技奖励7项；申请国家发明专利20余件；在国内外刊物发表学术论文50余篇，撰写学术专著2部。

关键技术

突破解决高性能ITO靶材制造关键技术问题：高纯纳米氧化铟制备技术、大尺寸平面型和大长径比中空管型ITO靶材成型技术、常压气氛超高致密烧结技术、精细微观组织控制机理机理及技术、大尺寸ITO靶材绑定技术，全面掌握以氧化铟、氧化锡单体粉末为原料采用烧结工艺制备高性能ITO靶材中粉末制备、粉末处理、素坯成型、素坯脱脂、烧结、机械加工、靶材焊接等关键技术和工艺条件；解决高密度、大尺寸、ITO靶材制备过程中粉末制备、粉末处理、素坯成形、脱脂、烧结、加工等技术难点；实现高性能ITO烧结靶材的稳定性中试生产。

应用领域和市场前景

高世代线显示面板、HIT异质结电池用系列溅射靶材,主要有ITO、AZO、IZO、IGZO、高纯铜、钼、钛、钽等靶材，覆盖智能玻璃、光伏手机、显示面板、触控面板，存储芯片等全系列靶材。掌握高性能靶材ITO 靶材关键技术工艺解决“卡脖子”关键问题，有助于推进我国高端靶材的国产化进程，完善产业链，打破我国长期面临的一方面低价出口初级资源另一方面又高价进口靶材的不利局面，需要进一步完善产业链配套，不断提升关键核心材料竞争能力和自主可控能力，促进我国电子信息战略新兴产业的健康快速发展。